高性能聚焦离子束双束系统
英文名称:FIB/SEM CrossBeam Workstation
产地国别:德国
制 造 商:德国Zeiss公司
原    值:648.20(万元)
运行状态:
启用日期:2013-12-31
所属单位:中国科学院合肥物质科学研究院
累计评价:0 累计服务:0
所属大类:单台套科学仪器设备
仪器信息 位置信息 累计服务 评论(0

仪器入网编号:340100050343

仪器设备分类:通用

主要学科领域:

仪器设备来源:购置

通讯地址:中国安徽合肥蜀山湖路350号

邮政编码:230031

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仪器所属类别:扫描电镜

规格型号:AURIGA

主要功能:通过高分辨率双束系统完成对于微纳米样品的纳米加工和纳米器件构筑,包括定点纳米切割,纳米刻蚀,纳米级别沉积,透射样品制备以及纳米级别的高分辨率成像等。同时配合INCA X-Max 50能谱仪,可对选定的点、多边形或复杂形状区域的材料进行元素种类与含量的分析,可对特定元素进行鉴别并判断其分布。

主要技术指标:1.电子束分辨率15kV下优于1nm,离子束分辨率30kV下优于2.5nm;

服务内容:材料形貌与尺度分析;元素能谱分析;材料切割与刻蚀;导电层与绝缘层沉积等

服务的典型成果:

对外开放共享规定:遵照中国科学院对外开发统一管理规定

参考收费标准:院外1600元/小时

安放地址:安徽省合肥市蜀山区智能所至真楼101

人员轨迹监管

地址:安徽省合肥市蜀山区智能所至真楼101

邮编:230031

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